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高溫真空幹燥箱HMDS系列

産品名稱:高溫真空幹燥箱HMDS系列

産品品牌:humgine

産品分類:HMDS高溫真空幹燥箱

産品描述:

HMDS高溫真空幹燥箱特點:
高溫真空幹燥箱在半導體生産工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,塗膠質量直接影響到光刻的質量,塗膠工藝也顯得尤为重要。光刻塗膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而矽片表面的羟基和殘留的水分子是親水的,这造成光刻膠和矽片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和矽片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二矽氮烷)可以很好地改善这種狀況

HMDS-6020高溫真空幹燥箱技術參數:
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:1500W
控溫範圍:室溫+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波动度:±0.5℃
达到真空度:133Pa
容積:20L
工作室尺寸(mm):300*300*275
外形尺寸(mm):465*465*725
載物托架:1塊
時間單位:分鐘

HMDS-6090高溫真空幹燥箱技術參數:
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:3000W
控溫範圍:室溫+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波动度:±0.5℃
达到真空度:133Pa
容積:90L
工作室尺寸(mm):450*450*450
外形尺寸(mm):615*615*900
載物托架:2塊
時間單位:分鐘

HMDS-6210高溫真空幹燥箱技術參數:
電源電壓:AC 380V±10%/50Hz±2%
輸入功率:4000W
控溫範圍:室溫+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波动度:±0.5℃
达到真空度:133Pa
容積:210L
工作室尺寸(mm):560*640*600
外形尺寸(mm):720*820*1050
HMDS預處理烘箱載物托架:3塊
時間單位:分鐘

真空幹燥箱選配件
真空泵:德國品牌,萊寶“DC”雙極系列旋片式油泵,極限真空高,噪音低,運行穩定。連接管:不鏽鋼波紋管,完全密封将真空泵與烘箱連接。

HMDS高溫真空幹燥箱的必要性:
在半導體生産工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,塗膠質量直接影響到光刻的質量,塗膠工藝也顯得尤为重要。光刻塗膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而矽片表面的羟基和殘留的水分子是親水的,这造成光刻膠和矽片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和矽片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二矽氮烷)可以很好地改善这種狀況。将HMDS塗到矽片表面後,经烘箱加溫可反應生成以矽氧烷为主體的化合物。它成功地将矽片表面由親水變为疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起着偶聯劑的作用。

HMDS烘預處理系統高溫真空幹燥箱特點:

1、機外殼采用不鏽鋼SUS304材質制造,内膽为不鏽鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在内膽外壁四周,内膽内無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃门觀察工作室内物體一目了然。
2、HMDS預處理烘箱箱门閉合松緊能調節,整體成型的矽橡膠门封圈,确保箱内高真空度。
3、微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精确,可靠。
4、智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用户根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。
5、HMDS氣體密閉式自动吸取添加設計,真空箱密封性能佳,确保HMDS氣體無外漏顧慮。
6、整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,适用100 級光刻間淨化環境。

HMDS預處理系統高溫真空幹燥箱原理:
HMDS預處理系統通過對真空幹燥箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在矽片、基片表面均勻塗布一層HMDS,降低了HMDS處理後的矽片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與矽片的黏附性。

HMDS預處理系統的高溫真空幹燥箱一般工作流程:
先确定工作溫度。典型的預處理程序为:打開真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度後,開始充人氮氣,充到达到某低真空度後,冉次進行抽真空、充入氮氣的過程,到达設定的充入氮氣次數後,開始保持一段時間,使矽片充分受熱,減少矽片表面的水分。然後再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到达設定時間後,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使矽片充分與HMDS反應。當达到設定的保持時間後,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作业過程。HMDS與矽片反應機理如圖:先加熱到100℃-200℃,去除矽片表面的水分,然後HMDS與表面的OH一反應,在矽片表而生成矽醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基矽烷基較大)阻止其進一步反應。

尾氣排放等:多餘的HMDS蒸汽(尾氣)将由真空泵抽出,排放到专用廢氣收集管道。在無专用廢氣收集管道時需做专门處理。

 

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